[发明专利]使用突发超快激光脉冲为脆性材料释放闭型部的方法

摘要

本发明提供一种使用突发超快激光脉冲为脆性材料释放闭型部的方法。一种用于从透明、脆性基板加工和释放闭型部的方法，该方法包括使用突发超快激光脉冲以便在基板中钻出孔的图案。孔由光声压缩形成，并且在透明基板中完全或部分地延伸。在透明基板中的间隔开的孔形成的划刻线包括基板中的闭式图案。加热源被施加至所述间隔开的孔形成的划刻线的周围区域，直至闭式图案从透明基板上释放。

主权项

一种用于从透明基板加工和释放闭型部的方法，该方法包括以下步骤：提供透明基板；提供包括突发激光脉冲的超快激光脉冲光束；提供激光束输送系统，该激光束输送系统能够将所述激光束聚焦到所述透明基板上，并使得所述激光束与所述透明基板之间能够进行模式化的相对运动；相对于所述透明基板聚焦所述激光束以使光束腰形成在所述透明基板外，其中，入射在所述透明基板的所述表面上的所述激光脉冲如此聚焦，使得在所述透明基板内能够保持足够的能量强度以形成穿过所述透明基板的连续激光光丝而不引起光学击穿；使多个孔蔓延，每一个孔都围绕所述光丝蔓延，所述光丝通过光声压缩而完全或部分地穿过所述透明基板；在所述透明基板内引导所述激光光丝从而在所述透明基板内生成闭式图案，所述闭式图案包括钻入所述透明基板中的间隔开的孔形成的划刻线；和对所述透明基板中的包括钻入所述透明基板中的间隔开的孔形成的划刻线的所述闭式图案的所述区域施加加热源直至所述闭式图案从所述透明基板释放。