[发明专利]pn结及其制备方法有效
申请号: | 201410852975.7 | 申请日: | 2014-12-31 |
公开(公告)号: | CN104576713B | 公开(公告)日: | 2018-03-30 |
发明(设计)人: | 梁凌燕;李秀霞;曹鸿涛;罗浩;刘权;秦瑞锋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/24;H01L21/04;H01L21/363 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 李芙蓉 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种pn结及其制备方法,该pn结包括n型Si半导体层和位于所述n型Si半导体层中部区域的p型SnO半导体层,其中,所述n型Si半导体层上设置有第一电极;所述p型SnO半导体层上设置有第二电极。本发明的pn结有明显的整流效应,可应用于发光二极管、太阳能电池、光电探测器、气敏传感器等半导体器件,扩大了氧化亚锡的应用范围。 | ||
搜索关键词: | pn 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种pn结,其特征在于,包括n型Si半导体层,所述n型Si半导体层上设置有第一电极;以及位于所述n型Si半导体层中部区域且与所述n型Si半导体层叠加设置的p型SnO半导体层,所述p型SnO半导体层上设置有第二电极,所述p型SnO半导体层的厚度为50nm~80nm;所述p型SnO半导体层的横截面为圆形;所述第一电极的横截面为圆环形,所述圆环形的第一电极将所述p型SnO半导体层围设在其内圆环中;所述第二电极的横截面为圆形,且所述第二电极的横截面面积小于所述p型SnO半导体层的横截面面积;所述第一电极和所述第二电极的厚度均为40nm~100nm。
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