[发明专利]晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构

摘要

本发明公开一种晶片传送手臂、晶片传送装置和晶片保持机构，用于快速稳定的传送晶片。所述晶片传送手臂包括壳体、连杆机构、可动式抵持部和载盘；所述连杆机构包括一组连杆、一组枢轴和一组与所述连杆连接的S型带体，所述连杆机构通过所述枢轴耦合在所述壳体中；所述S型带体围设在所述枢轴上，使得所述枢轴相对转动；所述枢轴上设置有凸起结构；所述可动式抵持部包括抵块和连动推杆，所述连动推杆通过一耦合部设置在所述壳体中，且其第一端抵触在所述枢轴上；所述抵块设置在所述连动推杆的第二端；所述枢轴旋转时，能够使得所述凸起结构抵触在所述连动推杆的第一端，推动所述连动推杆向第一位置移动，且使得所述抵块接触所述载盘上的晶片。

主权项

1.一种晶片传送手臂，用于从一晶片的一面或侧边接触该晶片以传送该晶片，其特征在于，包括壳体、连杆机构、可动式抵持部和载盘；所述载盘的一端与所述壳体固定连接，所述载盘用于放置晶片；所述连杆机构包括一组连杆、一组枢轴、一组S型带体和一组凸起结构，所述连杆机构通过所述枢轴耦合在所述壳体中；所述凸起结构设置在所述枢轴上；所述S型带体围设在所述枢轴上，且能够带动所述枢轴向相对方向转动；所述连杆与所述S型带体连接；所述可动式抵持部包括相连接的抵块和连动推杆，所述连动推杆通过一耦合部设置在所述壳体中，且所述连动推杆的第一端抵触在所述枢轴上；所述抵块设置在所述连动推杆的第二端；所述枢轴旋转时，能够使得所述凸起结构抵触在所述连动推杆的第一端，并推动所述连动推杆向第一位置移动，且使得所述抵块接触所述载盘上放置的晶片。