[发明专利]保持环的制作方法有效
申请号: | 201410810443.7 | 申请日: | 2014-12-23 |
公开(公告)号: | CN105773402B | 公开(公告)日: | 2019-03-05 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;大岩一彦;相原俊夫;王学泽 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B24B37/32 | 分类号: | B24B37/32 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 吴敏;骆苏华 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种保持环的制作方法,包括:提供受损保持环,所述受损保持环包括环状基盘和与所述环状基盘粘合的受损树脂环,所述受损树脂环的高度有所减小;将所述环状基盘与所述受损树脂环分离;提供非受损树脂环;将所述环状基盘与所述非受损树脂环粘合。采用本发明的方法能够实现保持环的循环再利用,以节省工艺成本。 | ||
搜索关键词: | 保持 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种保持环的制作方法,其特征在于,包括:提供受损保持环,所述受损保持环包括环状基盘和与所述环状基盘粘合的受损树脂环,所述受损树脂环的高度有所减小;将所述环状基盘与所述受损树脂环分离;提供非受损树脂环;将所述环状基盘与所述非受损树脂环粘合;所述环状基盘与所述非受损树脂环粘合后,以环状基盘安装面为基准,对非受损树脂环研磨面进行车削,所述车削线速度为大于等于100m/min且小于等于400m/min,车削量为大于等于0.005mm且小于等于0.5mm,进给速度为大于等于0.03mm/r且小于等于0.3mm/r。
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