[发明专利]基板检查装置及方法有效
| 申请号： | 201410803896.7 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN104391390A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 李庸珍;李彦燮;尹泰赫 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 230011 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板检查装置及方法。该基板检查装置包括：传送台，用于在其表面上承载所述基板；区域扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的标准规格；线扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的边缘线及尺寸；光源，其位于与所述传送台的第一侧相反的第二侧，用于将光线照射到所述基板上，供所述区域扫描相机及所述线扫描相机检查所述基板使用。根据本发明实施例提供的基板检查装置及方法，可以检查多种多样形态基板的规格，特别是对有着异形特性的基板进行检查，从而能够准确的判定不良的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检查装置，其特征在于，包括：传送台，用于在其表面上承载所述基板；区域扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的标准规格；线扫描相机，其位于所述传送台的第一侧，与所述表面相对设置，用于检查所述基板的边缘线及尺寸；光源，其位于与所述传送台的第一侧相反的第二侧，用于将光线照射到所述基板上，供所述区域扫描相机及所述线扫描相机检查所述基板使用。
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