[发明专利]一种自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置及其夹持方法

摘要

本发明涉及用于半导体行业晶圆清洗时的夹持设备，具体地说是一种自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置及其夹持方法，装置中的晶圆承片台与中空轴电机的输出端密封连接，在晶圆承片台上表面沿圆周方向均布有多个支撑晶圆边缘的垫柱，晶圆承片台下表面沿圆周方向均布有多个单作用弹簧复位气缸，每个单作用弹簧复位气缸的输出端均连接有夹持晶圆边缘的夹紧块；晶圆承片台上开有为单作用弹簧复位气缸提供工作介质的流通口；当不接通工作介质时，单作用弹簧复位气缸的活塞杆处于收缩状态，进而将晶圆边缘夹紧，当接通工作介质时，单作用弹簧复位气缸的活塞杆伸出，晶圆边缘被释放。本发明仅与晶圆的边缘有接触，在工艺实施过程中不会对晶圆造成损伤。

主权项

1.一种自动清洗晶圆时夹持晶圆边缘的装置，其特征在于：包括中空轴电机(1)、晶圆承片台(2)、垫柱(3)、夹紧块(5)及单作用弹簧复位气缸(6)，其中晶圆承片台(2)与所述中空轴电机(1)的输出端密封连接，在该晶圆承片台(2)上表面沿圆周方向均布有多个支撑晶圆(4)边缘的垫柱(3)，所述晶圆承片台(2)下表面沿圆周方向均布有多个单作用弹簧复位气缸(6)，每个所述单作用弹簧复位气缸(6)的输出端均连接有夹持所述晶圆(4)边缘的夹紧块(5)；所述晶圆承片台(2)上开有为单作用弹簧复位气缸(6)提供工作介质的流通口，各所述夹紧块(5)通过单作用弹簧复位气缸(6)的伸缩沿所述晶圆(4)的径向往复移动，实现对所述晶圆(4)边缘的夹持或松放；所述晶圆承片台(2)上开设的流通口包括垂直压缩空气流通口(7)及水平压缩空气流通口(8)，该垂直压缩空气流通口(7)通过所述中空轴电机(1)上的通孔(10)与压缩空气气源相连通，所述水平压缩空气流通口(8)为多个，沿圆周方向均布，每个所述水平压缩空气流通口(8)的一端分别与所述垂直压缩空气流通口(7)相连通，另一端分别连通于所述单作用弹簧复位气缸(6)上开设的工作介质接入口(9)。