[发明专利]一种压电薄膜泵及其制作方法

摘要

本发明公开了一种压电薄膜泵及其制作方法，自上到下包括盖板、压电膜、通道层及基板，盖板、压电膜、通道层及基板之间固定连接，压电膜的上表面及下表面对应镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域。盖板上开设有第一通孔，第一通孔正对压电膜上对应的压电薄膜泵的工作区电极，通道层上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔、储液池通孔、收液池通孔及通道槽孔，所述第二通孔正对第一通孔，第二通孔与收液池通孔及储液池通孔之间均通过通道槽孔相连通。制作方法简单方便，在整个制作过程中完全可以不需要昂贵的设备，完全可以广泛推广，实用性强。

主权项

一种压电薄膜泵，其特征在于，自上到下依次包括盖板(2)、压电膜(1)、用于为流体流动提供通道的通道层(3)、以及基板，盖板(2)、压电膜(1)、通道层(3)及基板之间相互连接；所述压电膜(1)的上表面及下表面正对镀有导电膜区，导电膜区包括压电薄膜泵的工作区电极(4)以及与压电薄膜泵的工作区电极相连接的导通区域(5)；所述盖板(2)上开设有第一通孔(6)，第一通孔(6)正对压电膜(1)上对应的压电薄膜泵的工作区电极(4)，通道层(3)上开设有流体通道，流体通道的一端与外界相连通，流体通道包括第二通孔(7)、储液池通孔(8)、收液池通孔(9)及通道槽孔(10)，第二通孔(7)正对第一通孔(6)，第二通孔(7)与收液池通孔(9)及储液池通孔(8)之间均通过通道槽孔(10)相连通。