[发明专利]一种金属膜选择吸附改性的石英晶振传感器

摘要

本发明公开了一种金属膜选择吸附改性的石英晶振传感器，包括外壳和晶片基座，外壳内设有石英晶片，石英晶片的前后表面分别设有金属膜层电极，金属膜层电极连接有电极引出线，金属膜层电极的表面涂覆有选择性吸附膜层，选择性吸附薄膜层由厚度为0.2-1μm的β-环糊精薄膜层构成；位于石英晶片前后表面的选择性吸附膜层的面积相同；外壳设有孔隙或网眼，外壳封装于晶片基座上。本发明利用β-环糊精分子疏水空腔可以包覆有机污染气体，主要依靠范德华力、疏水作用、分子间的匹配等作用形成主客体包络物的优势，以及邻苯二甲酸酯类和硅氧烷类分子尺寸差别，实现对空间污染物—邻苯二甲酸酯类选择性吸附的目的。

主权项

一种金属膜选择吸附改性的石英晶振传感器，包括外壳(9)和晶片基座(7)，所述外壳(9)内设有石英晶片(1)，所述石英晶片(1)的前后表面分别设有金属膜层电极，所述金属膜层电极连接有电极引出线(6)，其特征在于，金属膜层电极的表面涂覆有选择性吸附膜层(4)，选择性吸附薄膜层由厚度为0.2‑1μm的β‑环糊精薄膜层构成；位于所述石英晶片(1)前后表面的选择性吸附膜层的面积相同；所述外壳(9)设有孔隙或网眼，所述外壳(9)封装于所述晶片基座(7)上。