[发明专利]炭/炭复合材料构件化学气相渗积装置有效
| 申请号: | 201410675591.2 | 申请日: | 2014-11-23 | 
| 公开(公告)号: | CN104498891A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 | 
| 发明(设计)人: | 向巧;彭中亚;叶勇松;杨东玲;刘俊伶;张良成 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军第五七一九工厂 | 
| 主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/52 | 
| 代理公司: | 成飞(集团)公司专利中心51121 | 代理人: | 郭纯武 | 
| 地址: | 611937四川*** | 国省代码: | 四川;51 | 
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| 摘要: | 本发明提出了一种炭/炭复合材料构件化学气相渗积装置,旨在提供一种解决现有技术化学气相渗积存在的反应气体利用率较低、渗积效率不高的问题的装置。本发明通过下述技术方案予以实现:相连封闭渗积室的深度混气与出气装置下方设有一级控制反应气体导流方向的混气与预热装置及其监测反应气体预热温度的测温传感器);经调节控制的反应气体通过气体供应装置从化学气相沉积炉体炉底进气口进入混气与预热装置,控制器自动调节发热器上的电功率获得需要的预热温度;预热反应气体进入封闭渗积室,经过多孔石墨衬板渗透入放置在封闭渗积室内的复合材料预制体,在炉压控制装置压力控制及控温传感器温度控制的定值下进行化学气相渗积。 | ||
| 搜索关键词: | 复合材料 构件 化学 气相渗积 装置 | ||
【主权项】:
                一种炭/炭复合材料构件化学气相渗积装置,包括从炉体底部连通化学气相沉积炉体(6)的气体供应装置(1)、通过供气管道连通气体供应装置(1)的炉压控制装置(2)、设置在化学气相沉积炉体炉腔中混气与预热装置(3)的深度混气与出气装置(4)和封闭渗积室(5),其特征在于:封闭渗积室(5)相连深度混气与出气装置(4),深度混气与出气装置(4)下方设有一级配合带孔衬板控制反应气体导流方向的混气与预热装置(3),混气与预热装置内设有监测反应气体预热温度的测温传感器(3‑5);气体供应装置(1)、炉压控制装置(2)和混气与预热装置(3)电连接控制器(7);反应气体温度由测温传感器(3‑5)进行监测,并由控制器(7)进行调节控制,经调节控制的反应气体通过气体供应装置(1)从抽真空后的化学气相沉积炉体(6)炉底进气口(6‑11)进入混气与预热装置(3)进行混合与预热,控制器(7)根据测温传感器(3‑5)的信息,自动调节发热器(3‑4)上的电功率获得需要的预热温度;预热反应气体进入深度混气与出气装置(4)被进一步混合和分散,进入由环形石墨筒(5‑1)、多孔石墨衬板(5‑2)、复合材料预制体(5‑4)、石墨盖板(5‑6)形成的封闭渗积室(5),经过多孔石墨衬板(5‑2)渗透入放置在封闭渗积室(5)内的复合材料预制体(5‑4),在炉压控制装置(2)压力控制及控温传感器(6‑14)温度控制的定值下进行化学气相渗积。
            
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                    C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
                
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