[发明专利]一种化学清洗用分子自组装膜缓蚀剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201410649966.8 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN104404548B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李良;周宝文;周少玲;栾九峰;侯亚琴;于洋;聂兰正;李炜 | 申请（专利权）人： | 山东中实易通集团有限公司 |
| 主分类号： | C23G1/06 | 分类号： | C23G1/06 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司37221 | 代理人： | 杨琪,崔苗苗 |
| 地址： | 250002 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学清洗用分子自组装膜缓蚀剂，由缓蚀组分和分散增溶组分按质量比为(5～6)1组成；所述缓蚀组分由以下重量份的原料组成巯基苯并噻唑70‑80份，邻二甲苯硫脲10‑20份，5,6‑二甲基‑2‑巯基苯并噻唑10‑20份；所述分散增溶组分由以下重量份的原料组成十二烷基硫酸钠10‑20份，双子表面活性剂10‑20份，扩散剂MF 30‑40份，分散剂CS 30‑40份。本发明还公开了该缓蚀剂的制备方法。本发明缓蚀剂的制备方法简单，价格低廉，用量少，缓蚀效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 清洗 分子 组装 膜缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种化学清洗用分子自组装膜缓蚀剂，其特征在于，由缓蚀组分和分散增溶组分按质量比为(5 ～ 6):1 组成；所述缓蚀组分由以下重量份的原料组成：巯基苯并噻唑70‑80 份，邻二甲苯硫脲10‑20 份， 5,6‑ 二甲基‑2‑ 巯基苯并噻唑10‑20份；所述分散增溶组分由以下重量份的原料组成：十二烷基硫酸钠10‑20 份，双子表面活性剂10‑20 份，扩散剂MF 30‑40 份，分散剂CS30‑40 份；所述化学清洗用分子自组装膜缓蚀剂由如下方法制备而成：(1) 按重量份称取原料，分别将缓蚀组分和分散增溶组分混合均匀；(2) 将混合均匀后的缓蚀组分和分散增溶组分按质量比(5 ～ 6):1 混合，即得。
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