[发明专利]一种含有进气石英枪的卧式扩散炉

摘要

本发明公开了一种含有进气石英枪的卧式扩散炉，石英枪用于工艺气体的注入，石英枪为中空的石英枪管，其开口端与扩散炉用于注入工艺气体的进气管采用具有镜面研磨配合面的球头和球碗配合方式机械密封连接，靠近封闭端环绕石英枪的侧壁设有1至若干组出气喷口，每组包括若干个喷口，工艺气体由进气管进入石英枪后，可在各喷口处被均匀分流呈辐射状喷出，并在排气口的抽吸导向作用下覆盖喷向其斜下方的全部硅片表面，可有效防止工艺气体泄漏，提高扩散工艺的均匀性，减小对工艺温度的波动影响，提高设备利用率。

主权项

一种含有进气石英枪的卧式扩散炉，所述石英枪水平设于半导体卧式扩散炉工艺管内一组并排垂直放置的硅片的斜上方，所述石英枪连接所述工艺管的进气管，用于工艺气体的注入，位于所述硅片下方设有所述工艺管的排气口，其特征在于，所述石英枪为一端封闭的中空石英枪管，其开口端与所述进气管水平同轴密封连通，靠近封闭端环绕所述石英枪的侧壁设有1至若干组出气喷口，每组包括若干个所述喷口，各所述喷口环绕所述石英枪的径向均匀分布，在石英枪封闭端的中心位置另设有一个喷口；其中，工艺气体由所述进气管进入所述石英枪后，可在各所述喷口处被均匀分流呈辐射状喷出，并在所述排气口的抽吸导向作用下覆盖喷向其斜下方的全部所述硅片表面，以提高扩散工艺的均匀性。