[发明专利]用于微机械构件的电极装置有效
| 申请号： | 201410642584.2 | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN104627946B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭毅<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10EP)；至少一个第二功能层(20VP)；和至少一个第三功能层(30FP)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少逐区段地完全免于氧化物材料(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 功能层 电印制导线 微机械构件 氧化物材料 电极装置 电极 | ||
【主权项】：
1.一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：/n具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10)、至少一个第二功能层(20)和/n至少一个第三功能层(30)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少区段式地完全去除氧化物材料(40)并且布置在所述第一功能层和所述第二功能层之间，其中，所述第二功能层(20)布置在衬底(1)上及所述第三功能层(30)布置在所述第二功能层(20)上，及其中，所述第二功能层(20)的至少一个印制导线和所述第三功能层(30)的至少一个印制导线交叉地布置，其中，所述交叉布置在所述第一功能层(10)之下并且通过所述第二功能层(20)和第三功能层(30)实现全部布线。/n
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