[发明专利]用于微机械构件的电极装置

说明书

一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10EP)；至少一个第二功能层(20VP)；和至少一个第三功能层(30FP)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少逐区段地完全免于氧化物材料(40)。

技术领域

本发明涉及一种用于微机械构件的电极装置。此外，本发明涉及一种用于制造用于微机械构件的电极装置的方法。

背景技术

在汽车领域和用于不同应用的消费者领域中已知用于测量加速度和转速的微机械惯性传感器。其中，这样的传感器包括表面微机械层，所述表面微机械层的厚度典型地在大约10μm和大约30μm之间。布置在其下方的薄的印制导线层面用于可运动的结构的灵活的布线和接通，所述印制导线层面的厚度通常在大约200nm和大约1000nm之间。

这两个功能层通过氧化物材料相互分开，其中，由于氧化物材料的敞开而出现接触孔，所述接触孔确保所述功能层之一到另一功能层上的机械连接和电连接。

DE 10 2012 200 740 A1公开了一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。公开了保护以防在另一功能层的封闭的层下方掏蚀一个功能层的狭窄的印制导线。

DE 10 2009 045 391 A1公开了一种微机械结构和一种用于制造微机械结构的方法。示出微机械功能层，以实现电极载体，在所述电极载体上布置有另外的功能层的各个固定的电极，其中，所述电极载体部分地在该另外的功能层的另外的电极梳下方延伸并且桥接所述电极梳。以此方式应实现封装应力和引起的衬底变形的良好的脱耦。

发明内容

本发明的任务在于，提供一种用于微机械构件的改进的电极装置。

根据第一方面，该任务借助于用于微机械构件的电极装置来解决，所述电极装置具有：

具有构造在其中的电极的至少一个第一功能层；

至少一个第二功能层；和

至少一个第三功能层，其中，第三功能层能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层至少区段式地完全去除氧化物材料。

根据本发明，提供附加的、以第三功能层形式的布线层面。基于第三功能层相对牢固或者厚地构造的事实，能够使所述第三功能层有利地至少区段式地完全去除氧化物材料。以此方式可能的是，使构造为印制导线层面的第三功能层的寄生电容最小。此外，由于第三功能层的印制导线层面较厚的构造和与之相关的高的机械稳定性，产生电极装置的全部布线在面积上紧凑的构造，因为印制导线能够相对狭窄地实施。

根据另一方面，该任务借助于用于制造用于微机械构件的电极装置的方法来解决，所述方法具有以下步骤：

提供第一功能层；

在第一功能层之内构造电极；

提供第二功能层；以及

提供第三功能层，其中，这样构造第三功能层的厚度，使得第三功能层能够作为电印制导线使用；以及

使第三功能层至少部分地完全去除氧化物材料。

根据本发明的电极装置和根据本发明的方法的优选的实施方式是下述说明的主题。

按照根据本发明的电极装置的一个优选的实施方式设置，第三功能层的厚度比第二功能层的厚度大至少大约四倍。由于第三功能层的所述特别的构型，第三功能层作为电印制导线足够能支撑，可完全地掏蚀并且具有有利的机械特性。

按照根据本发明的电极装置的另一优选的实施方式设置，第三功能层基本上布置在第一和第二功能层之间。由此支持用于微机械构件的印制导线结构的高的设计自由度或者设计灵活性。