[发明专利]用于微机械构件的电极装置

权利要求书

1.一种用于微机械构件(100)的电极装置，其具有：

具有构造在其中的电极(11，11′，12)的至少一个第一功能层(10)、至少一个第二功能层(20)和

至少一个第三功能层(30)，其中，所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用，其特征在于，所述第三功能层(30)至少区段式地完全去除氧化物材料(40)并且布置在所述第一功能层和所述第二功能层之间，其中，所述第二功能层(20)布置在衬底(1)上及所述第三功能层(30)布置在所述第二功能层(20)上，及其中，所述第二功能层(20)的至少一个印制导线和所述第三功能层(30)的至少一个印制导线交叉地布置，其中，所述交叉布置在所述第一功能层(10)之下并且通过所述第二功能层(20)和第三功能层(30)实现全部布线。

2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述第三功能层(30)的厚度比所述第二功能层(20)的厚度大至少四倍。

3.根据权利要求1或2所述的电极装置，其特征在于，所述第三功能层(30)的宽度至少区段式不同地构造。

4.根据权利要求1或2所述的电极装置，其特征在于，布置在所述功能层(10，20，30)之间的氧化物材料(40)能够借助于蚀刻工艺结构化。

5.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，所述第三功能层(30)具有用于蚀刻介质的入口的孔(32)。

6.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，氧化物材料(40)仅仅在以下位置上结构化：在所述位置上构造有到所述功能层(10，20，30)之一的导电接触。

7.根据权利要求1或2所述的电极装置，其特征在于，所述第二功能层(20)和所述第三功能层(30)能够相互机械连接和/或电连接。

8.一种微机械构件(100)，其具有根据权利要求1至7中任一项所述的电极装置。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的电极装置在微机械构件(100)中的应用。

10.一种用于制造用于微机械构件(100)的电极装置的方法，其具有以下步骤：

提供第一功能层(10)；

在所述第一功能层(10)之内构造电极；

提供第二功能层(20)；和

提供第三功能层(30)，其中，这样构造所述第三功能层(30)的厚度，使得所述第三功能层(30)能够作为电印制导线使用；以及

使所述第三功能层(30)至少部分地完全去除氧化物材料(40)，

其中，所述第二功能层(20)布置在衬底(1)上，及

其中，所述第三功能层(30)布置在所述第二功能层(20)上并且在所述第一功能层和所述第二功能层之间，及

其中，所述第二功能层(20)的至少一个印制导线和所述第三功能层(30)的至少一个印制导线交叉地布置，其中，所述交叉布置在所述第一功能层(10)之下并且通过所述第二功能层(20)和第三功能层(30)实现全部布线。