[发明专利]双波长斐索激光干涉仪在审
| 申请号： | 201410605364.2 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104315971A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 曲艺;苏东奇;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 双波长斐索激光干涉仪涉及光学仪器领域，该干涉仪第一激光光源和第二激光光源发出激光，经过光纤耦合器耦合后，通过会聚透镜将光会聚在小孔光阑处，经过小孔光阑后光发散出射，由分光镜反射后，经由准直镜准直形成平行光，照射在标准参考镜上；一部分光经由标准参考镜的参考面反射回来，形成参考波前；另一部分光透射过参考镜后，照射在待测元件上，经由待测元件反射回来，形成测量波前；两路反射波经过准直镜返回，由分光镜透射，通过成像镜后，干涉条纹由面阵探测器接收。可在两个波长切换，可以对未镀膜元件进行面形测试，还可以对镀了632.8nm增透膜的光学元件进行面形测试，有效地扩充了现有单波长斐索激光干涉仪的检测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，该干涉仪包括：第一激光光源、第二激光光源、光纤耦合器、会聚透镜、小孔光阑、分光镜、准直镜、标准参考镜、成像镜和面阵探测器；所述第一激光光源和第二激光光源发出激光，经过光纤耦合器耦合后，通过会聚透镜将光会聚在小孔光阑处，经过小孔光阑后光发散出射，由分光镜反射后，经由准直镜准直形成平行光，照射在标准参考镜上；一部分光经由标准参考镜的参考面反射回来，形成参考波前；另一部分光透射过参考镜后，照射在待测元件上，经由待测元件反射回来，形成测量波前；两路反射波经过准直镜返回，由分光镜透射，通过成像镜后，干涉条纹由面阵探测器接收。
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