[发明专利]双波长斐索激光干涉仪

权利要求书

1.双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，该干涉仪包括：第一激光光源、第二激光光源、光纤耦合器、会聚透镜、小孔光阑、分光镜、准直镜、标准参考镜、成像镜和面阵探测器；所述第一激光光源和第二激光光源发出激光，经过光纤耦合器耦合后，通过会聚透镜将光会聚在小孔光阑处，经过小孔光阑后光发散出射，由分光镜反射后，经由准直镜准直形成平行光，照射在标准参考镜上；一部分光经由标准参考镜的参考面反射回来，形成参考波前；另一部分光透射过参考镜后，照射在待测元件上，经由待测元件反射回来，形成测量波前；两路反射波经过准直镜返回，由分光镜透射，通过成像镜后，干涉条纹由面阵探测器接收。

2.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述第一激光光源和第二激光光源的波长范围为400nm至800nm，并且两个光源波长不相同，存在100nm以上波长间隔。

3.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述分光镜的透射与反射分光比为30％至70％。

4.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述会聚透镜为可见光波段的透镜组，镜片数量为1片至4片，焦长范围为10mm至200mm。

5.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述准直镜为可见光波段的透镜组，镜片数量为1片至4片，焦长范围为50mm至15000mm。

6.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述标准参考镜，为可见光波段的透镜组，镜片数量为2片至7片，焦长范围为10mm至10000mm。

7.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述成像镜，为可见光波段的透镜组，镜片数量为2片至5片，焦长范围为10mm至1000mm。

8.根据权利要求1所述的双波长斐索激光干涉仪，其特征在于，所述面阵探测器，为可见光波段的CCD探测器或CMOS探测器。