[发明专利]压电体膜及其用途在审
| 申请号： | 201410602402.9 | 申请日： | 2014-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104868047A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 桥本和弥;田中良明;张替贵圣;足立秀明;藤井映志 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/18;H01L41/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘航;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种具有更高的退极化温度Td的压电体膜。本发明的压电体膜具备：仅具有(001)取向的(Nax1，Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层(14)；和仅具有(001)取向的(Nax2，Biy2)TiO0.5x2+1.5y2+2﹣BaTiO3层(15)，其中，0.28≤x1≤0.43、0.49≤y1≤0.60、0.30≤x2≤0.46、0.51≤y2≤0.63。(Nax1，Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层(14)含有镍，并且具有0.02以上的Ni/Ti摩尔比。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 及其 用途 | ||
【主权项】：
一种压电体膜，具备以下的层：仅具有(001)取向的(Nax1，Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层；和仅具有(001)取向的(Nax2，Biy2)TiO0.5x2+1.5y2+2﹣BaTiO3层，其中，所述(Nax2，Biy2)TiO0.5x2+1.5y2+2﹣BaTiO3层形成于所述(Nax1，Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层上，所述(Nax1，Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层含有镍，所述(Nax1，Biy1)TiO0.5x1+1.5y1+2﹣BaTiO3层具有0.02以上的Ni/Ti摩尔比，并且，满足以下的全部4个数式(I)～(IV)：0.28≤x1≤0.43 (I)；0.49≤y1≤0.60 (II)；0.30≤x2≤0.46 (III)；0.51≤y2≤0.63 (IV)。
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