[发明专利]一种电极结构、薄膜晶体管、阵列基板及显示面板有效
| 申请号： | 201410601597.5 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104300008B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 何晓龙;姚琪;曹占锋;李正亮;孔祥春;张斌;高锦成 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/41 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电极结构、薄膜晶体管、阵列基板及显示面板，电极结构中至少包括层叠设置的第一金属层和第一石墨烯层，第一金属层的材料为铜或铜合金。由于石墨烯是由碳原子构成的单层六边形结构，结构稳定，具有较高的电荷迁移率，并且与铜原子之间的结合力强，对铜原子有很好的吸附作用。因此，利用第一石墨烯层对第一金属层中的铜原子的吸附和阻挡作用，可以有效防止电极结构中铜原子的扩散，同时由于石墨烯具有极高的电导率，与金属层形成的复合结构，可以进一步提高电极结构的导电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 结构 薄膜晶体管 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，包括衬底基板，以及位于所述衬底基板上的栅电极、有源层、源电极和漏电极，其中，所述栅电极与所述有源层之间相互绝缘，所述源电极和所述漏电极分别与所述有源层电连接；其特征在于：所述栅电极、所述源电极和所述漏电极至少其中之一包括层叠设置的第一金属层和第一石墨烯层；位于所述衬底基板与所述第一金属层之间的第二金属层；以及位于所述第二金属层与所述第一金属层之间的第二石墨烯层；其中，所述第一金属层的材料为铜或者铜合金，所述第二金属层的材料为铜合金。
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