[发明专利]一种发光二极管及其制造方法在审
申请号: | 201410597096.4 | 申请日: | 2014-10-29 |
公开(公告)号: | CN104319332A | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 薛蕾;肖千宇 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/42;H01L33/00 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 徐立 |
地址: | 215600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种发光二极管,属于光电子制造技术领域,包括依次层叠的衬底、缓冲层、分布布拉格反射镜、n型限制层、有源层、p型限制层、GaP窗口层、p型欧姆接触层,衬底的与缓冲层相对的一面上设置有n型欧姆接触电极,p型欧姆接触层的与GaP窗口层相反的一面上设置有p面焊线电极,GaP窗口层与p型欧姆接触层之间层叠有C元素重掺杂GaP层,p型欧姆接触层为氧化铟锡膜,p面焊线电极为Al电极。通过采用高透过率导电膜氧化铟锡代替Au/AuBe/Au做p型欧姆接触层,p面焊线电极采用以金属Al为主的电极,可以极大地减少芯片制作过程中的黄金消耗,有效地大幅降低成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管,包括依次层叠的衬底、缓冲层、分布布拉格反射镜、n型限制层、有源层、p型限制层、GaP窗口层、p型欧姆接触层,所述衬底的与所述缓冲层相对的一面上设置有n型欧姆接触电极,所述p型欧姆接触层的与所述GaP窗口层相反的一面上设置有p面焊线电极,其特征在于,所述GaP窗口层与所述p型欧姆接触层之间层叠有C元素重掺杂GaP层,所述p型欧姆接触层为氧化铟锡膜,所述p面焊线电极为Al电极。
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