[发明专利]倾斜式扫描中利用DMD三角区域进行拼接改善的方法无效
| 申请号： | 201410574471.3 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN104536269A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 程珂;张伟;尤鑫 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06T5/50 |
| 代理公司： | 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 | 代理人： | 刘新合 |
| 地址： | 221399 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了倾斜式扫描中利用DMD三角区域进行拼接改善的方法。在采用DMD方式进行扫描的直写式光刻机中，会因为多光头的设计带来条带间拼接的概念。因为环境、机械振动等各种原因，以往的硬拼接方式很不稳定，拼接质量差，会在拼接处形成图形错位、重叠、撕裂等现象。在倾斜式扫描中，可以利用DMD两侧的三角形区域，使扫描过程中的每条带边界处形成一个灰度的模式，来对场内、场间拼接进行改善。在两条带拼接处的灰度叠加可有效减弱拼接错位、重叠、撕裂等现象。同时每条带的实际扫描宽度也有所增加，在多光头扫描过程中，会增加设备的最大制板宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜 扫描 利用 dmd 三角 区域 进行 拼接 改善 方法 | ||
【主权项】：
倾斜式扫描中利用DMD三角区域进行拼接改善的方法，其特征在于：在倾斜式扫描过程中，利用DMD横向方向上因倾斜原因在两边各空余出的三角区域对场内、场间拼接进行改善。
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