[发明专利]一种注入机固体进料方法无效
| 申请号： | 201410562461.8 | 申请日： | 2014-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN104392883A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 明建川 | 申请（专利权）人： | 常州博锐恒电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公布了一种注入机固体进料的方法，真空密封的固体进料装置安装在离子源进气口上，装置上面开有激光透射窗，高功率激光通过透射窗打在装置内需要气化的固体物质上面，使固体气化，气化后的物质通过进气孔到达离子源放电室，在里面变为离子，再通过高压引出注入到工件上面。该方法不需要高温加热，结构简单，并且能量利用率高，可靠性好，具有很高的实用价值，相比现有高温加热送料方法，它产生离子的种类更多，有很高的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 注入 固体 进料 方法 | ||
【主权项】：
一种注入机固体进料方法，采用高功率激光，直接对待气化原料进行加热蒸发，气化后的原料通过离子源进气孔进入离子源放电室被电离形成等离子体，再通过高压加速注入到工件内部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州博锐恒电子科技有限公司，未经常州博锐恒电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410562461.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种清洗钝化GaAS晶圆表面的方法
- 下一篇：欠压脱扣器
