[发明专利]一种MEMS陀螺结构关键参数自动测试方法

摘要

本发明是一种用于MEMS陀螺结构关键参数自动测试方法。所述方法包括如下步骤：步骤1)在MEMS陀螺驱动模态的驱动结构电极上施加白噪声电压激励产生驱动力；步骤2)将MEMS陀螺驱动模态的振动拾取结构电极连接前置读出电路；所述响应曲线采集到数字信号处理器中进行FFT处理，获得驱动模态的谐振频率fd；步骤3)以步骤2)得到的谐振频率fd构造正弦波，施加在驱动模态的驱动结构电极上，在确定陀螺起振后，采集驱动模态和检测模态前置读出电路的输出电压，获得耦合比；步骤4)撤除正弦波激励，由衰减曲线计算出驱动模态的品质因数Qd。可以自动测试谐振频率、品质因数和耦合电压比、位移比等结构关键参数。

主权项

1.一种MEMS陀螺结构关键参数自动测试方法，适用于包含两个工作模态结构MEMS陀螺的结构关键参数的测试，所述两个工作模态结构为驱动模态结构和检测模态结构；所述驱动模态结构包括驱动模态驱动结构、驱动模态振动结构和驱动模态振动拾取结构；所述检测模态结构包括检测模态驱动结构、检测模态振动结构和检测模态振动拾取结构；所述结构关键参数包括：驱动模态的谐振频率fd、驱动模态的品质因数Qd、驱动模态和检测模态的耦合电压比；其特征在于，所述方法包括如下步骤：步骤1)在MEMS陀螺驱动模态的驱动结构电极上施加白噪声电压激励产生驱动力；步骤2)将MEMS陀螺驱动模态的振动拾取结构电极连接前置读出电路；前置读出电路读取陀螺输出的电压变化量，获得陀螺驱动模态的响应曲线；所述响应曲线采集到数字信号处理器中进行FFT处理，获得驱动模态的谐振频率fd；步骤3)以步骤2)得到的谐振频率fd构造正弦波，施加在驱动模态的驱动结构电极上，在确定陀螺起振后，采集驱动模态和检测模态前置读出电路的输出电压，获得耦合比；步骤4)撤除正弦波激励，由衰减曲线计算出驱动模态的品质因数Qd；在完成步骤3)后，撤除正弦波激励，驱动模态的前置读出电路输出陀螺振动衰减曲线，由衰减曲线计算出驱动模态的品质因数Qd。