[发明专利]一种堵片报警方法及系统

摘要

本发明公开了一种堵片报警方法，用于制绒机及湿法刻蚀机的堵片报警，先获得硅片经过进片传感器和出片传感器所需的通过时间T；硅片先经过进片传感器，进片传感器检测到硅片后，经过T时间后，判断出片传感器是否能够检测到硅片，若检测到硅片，则硅片正常通过，若没检测到硅片，则设备发生了堵片，发出堵片报警信号。该堵片报警方法能够及时准确的提示设备内是否发生堵片，使操作者及时发现设备内发生了堵片并进行处理，将损失降到最低，降低成本，同时避免了人工定时检查，减少了操作者的工作量，并提高了安全性。本发明还提供了一种应用上述堵片报警方法的堵片报警系统。

主权项

一种堵片报警方法，用于制绒机及湿法刻蚀机的堵片报警，其特征在于，包括以下步骤：1)获得硅片经过进片传感器和出片传感器所需的通过时间T；2)判断所述进片传感器是否检测到所述硅片，若是，进入步骤3)；若否，返回步骤2)；3)判断T时间后所述出片传感器是否检测到所述硅片，若是，返回步骤2)；若否，进入步骤4)；4)发出堵片报警信号。