[发明专利]一种堵片报警方法及系统

权利要求书

1.一种堵片报警方法，用于制绒机及湿法刻蚀机的堵片报警，其特征在于，包括以下步骤：

1)获得硅片经过进片传感器和出片传感器所需的通过时间T；

2)判断所述进片传感器是否检测到所述硅片，若是，进入步骤3)；若否，返回步骤2)；

3)判断T时间后所述出片传感器是否检测到所述硅片，若是，返回步骤2)；若否，进入步骤4)；

4)发出堵片报警信号。

2.如权利要求1所述的堵片报警方法，其特征在于，步骤1)中还包括：

11)获取所述进片传感器和所述出片传感器之间的距离L；

12)获取所述硅片经过所述进片传感器和所述出片传感器的通过速度V；

13)根据距离L和通过速度V计算所述硅片的通过时间T＝L/V。

3.如权利要求2所述的堵片报警方法，其特征在于，步骤1)中还包括：

14)使一个硅片进入制绒机及湿法刻蚀机，所述进片传感器检测到所述硅片时，开始计时；

15)所述出片传感器检测到所述硅片时，计时结束，获得所述硅片通过的实际时间T'；

16)判断通过时间T是否等于实际时间T'，若等于，则进入步骤2)；若不等，则返回步骤11)。

4.如权利要求1至3任一项所述的堵片报警方法，其特征在于，步骤4)中发出堵片报警信号的同时，控制硅片停止进入制绒机及湿法刻蚀机。

5.一种堵片报警系统，用于制绒机及湿法刻蚀机的堵片报警，其特征在于，包括进片传感器(2)、出片传感器(3)、控制器(5)和报警器(4)，所述进片传感器(2)、所述出片传感器(3)和所述报警器(4)均通过信号线与所述控制器(5)相连；所述控制器(5)能够获得硅片(7)的通过时间，当所述进片传感器(2)检测到所述硅片(7)后，经过所述通过时间后，所述控制器(5)若未收到所述出片传感器(3)检测到所述硅片(7)的信号，则控制所述报警器(4)发出堵片报警信号。

6.如权利要求5所述的堵片报警系统，其特征在于，所述硅片(7)通过传输滚轮(1)移动，所述控制器(5)根据所述进片传感器(2)与所述出片传感器(3)之间的距离和所述传输滚轮(1)的转动速度获得所述硅片(7)的通过时间。

7.如权利要求6所述的堵片报警系统，其特征在于，所述传输滚轮(1)的转动由马达(6)控制，所述马达(6)通过信号线与所述控制器(5)相连，以便所述控制器(5)获得所述传输滚轮(1)的转动速度。

8.如权利要求7所述的堵片报警系统，其特征在于，所述报警器(4)发出堵片报警信号时，所述控制器(5)控制所述马达(6)停止运行。