[发明专利]一种硅片往复切割工艺无效
| 申请号： | 201410447955.1 | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN104191533A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 杜正兴;李靖;华冰 | 申请（专利权）人： | 无锡尚品太阳能电力科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅 |
| 地址： | 214181 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片往复切割工艺，属于硅片切割技术领域。其通过切割线的往复运动，对切割系统提供更大的行程和线速，达到提高生产效率的目的。本发明通过连续的供线系统和旧线回收系统，能有效减少线的破损，还可促使线的张紧以保证切割线的刚性，有利于提高切片精度，同时，最大限度的利用切割线从而降低消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 往复 切割 工艺 | ||
【主权项】：
一种硅片往复切割工艺，其特征是步骤为：（1）固化：选取长度为250‑300mm的硅棒，利用固化剂把硅棒粘接在工件板上进行固化，固化时间为6h以上，室温为23‑28℃左右；（2）配置砂浆：即碳化硅的悬浮液，砂浆调试比例按碳化硅：悬浮液水质量比为0.9‑0.95：1之间，单刀用砂浆量为225kg；（3）切割：采用切割机进行切割，导轮带动钢线，钢线直径0.11‑0.115mm，正转2min后，再把导轮反转1min，利用切割后的钢线再进行一次切割；切割时间9‑12h，钢线使用量为200‑240km；操作过程放线与回线的比率在3.5‑4.5:1、工作台速度0.25‑0.35mm/min，线速度630‑680m/min；（4）脱胶：硅棒切割结束后使用60‑65℃的温水浸泡8‑10分钟后脱胶；（5）后处理：脱胶后的硅片进行清洗、甩干，即可。
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