[发明专利]使用显微透镜的相位差检测像素

摘要

本发明公开了一种使用显微透镜的相位差检测像素，通过调整显微透镜的形状，其检测相位差而不会出现输入信号损耗，所述显微透镜收集入射至光电二极管的光，从而光仅在特定方向上穿过。在使用显微透镜的相位差检测像素中，现有的相位差检测像素的不足的信号降低的问题得以解决以及在图像传感器的所有区域中可实现相位差检测功能。使用显微透镜的相位差检测像素可广泛应用于物体间的距离测量以及三维图像捕捉。

主权项

一种使用显微透镜的相位差检测像素，其包括：形成于半导体基板中的光电二极管；形成于光电二极管之上的金属互连层；形成于金属互连层之上的绝缘层；形成于绝缘层之上并包括总的滤色器以及一对用于相位差检测的滤色器的滤色器层；以及包括形成于总的滤色器之上的总的显微透镜以及形成于一对用于相位差检测的滤色器之上的用于相位差检测的显微透镜的显微透镜层；其中，用于相位差检测的显微透镜包括：用于相位差检测的第一显微透镜，其具有通过在水平和垂直方向上将凸透镜关于凸透镜的中心四等分而获得的形状，并在其一侧提供有倾斜并弯曲的第一入射表面；用于相位差检测的第二显微透镜，其具有通过在水平和垂直方向上将凸透镜关于凸透镜的中心四等分而获得的形状，并在与用于相位差检测的第一显微透镜相反的方向上提供有倾斜并弯曲的第二入射表面；其中，用于相位差检测的显微透镜与用于相位差检测的滤色器相关地形成，从而在特定方向上的入射光在与用于相位差检测的滤色器相对应的光电二极管中被收集。