[发明专利]一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置

摘要

本发明提供一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，解决现有光刻投影物镜在运输和搬运过程中可动元件组件和驱动器存在损坏的问题。该装置包括驱动器、可动元件组件的驱动部位、锁紧器和紧固螺钉；可动元件组件的驱动部位包括镜框固定体、镜框可动体和镜框驱动部位，所述的镜框固定体设置紧固螺钉安装孔、锁紧器容纳槽、锁紧螺纹孔和驱动器安装面，锁紧器包括限位凸台和锁紧螺纹柱，限位凸台上设置多个圆周均布的旋紧槽，旋紧槽用于使锁紧器在锁紧器容纳槽中的旋入或旋出，限位凸台和锁紧螺纹柱中心设置中心孔；所述的锁紧螺纹柱设置在锁紧螺纹孔中，且与锁紧螺纹孔配合；驱动器穿过中心孔作用到镜框驱动部位上。

主权项

一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，包括：驱动器(1)、可动元件组件的驱动部位(2)和紧固螺钉(4)，其特征在于，所述的锁紧装置还包括锁紧器(3)；所述的可动元件组件的驱动部位(2)包括镜框固定体(2‑1)、镜框可动体(2‑2)和镜框驱动部位(2‑3)，镜框驱动部位(2‑3)分别与镜框固定体(2‑1)和镜框可动体(2‑2)连接；所述的镜框固定体(2‑1)设置紧固螺钉安装孔(2‑1‑1)、锁紧器容纳槽(2‑1‑2)、锁紧螺纹孔(2‑1‑3)和驱动器安装面(2‑1‑4)，紧固螺钉安装孔(2‑1‑1)用于安装紧固螺钉(4)，驱动器安装面(2‑1‑4)用于驱动器(1)与镜框固定体(2‑1)的连接；所述的锁紧器(3)包括限位凸台(3‑1)和锁紧螺纹柱(3‑2)，限位凸台(3‑1)和锁紧螺纹柱(3‑2)连接，限位凸台(3‑1)上设置多个圆周均布的旋紧槽(3‑1‑1)，旋紧槽(3‑1‑1)用于使锁紧器(3)在锁紧器容纳槽(2‑1‑2)中的旋入或旋出，限位凸台(3‑1)中心和锁紧螺纹柱(3‑2)中心设置中心孔(3‑3)；所述的锁紧螺纹柱(3‑2)设置在锁紧螺纹孔(2‑1‑3)中，且与锁紧螺纹孔(2‑1‑3)配合；驱动器(1)穿过中心孔(3‑3)作用到镜框驱动部位(2‑3)上。