[发明专利]一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置

说明书

技术领域

本发明属于光刻投影物镜中可动机构驱动限位锁紧领域，具体涉及一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置。

背景技术

光刻投影技术是大规模集成电路制造技术和微光学、微机械技术的先导和基础，决定了集成电路的集成度。光刻投影物镜较高的成像质量，要求在物镜系统中设置多个可动光学元件用于功能性调节。该可动光学元件的动作往往通过压电驱动器或电机驱动器产生的直线运动推动可动元件组件得以实现，驱动器前端与可动元件组件没有固定连接，通过驱动器前端直接接触可动元件组件方式只能提供推力的方式驱动。当安装好驱动器后，在运输和搬运过程中可能存在较大的冲击，导致可动元件组件与驱动器之间产生较大冲击或脱离，可动元件组件和驱动器存在极大的危险，直接导致投影物镜的成像质量劣化甚至物镜自身存在极大的破坏危险。

发明内容

为了解决现有光刻投影物镜在运输和搬运过程中可动元件组件和驱动器存在损坏的问题，本发明提供一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置。

本发明解决技术问题所采取的技术方案如下：

一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，包括：驱动器、可动元件组件的驱动部位和紧固螺钉，所述的锁紧装置还包括锁紧器，所述的可动元件组件的驱动部位包括镜框固定体、镜框可动体和镜框驱动部位，镜框驱动部位分别与镜框固定体和镜框可动体连接；所述的镜框固定体设置紧固螺钉安装孔、锁紧器容纳槽、锁紧螺纹孔和驱动器安装面，紧固螺钉安装孔用于安装紧固螺钉，驱动器安装面用于驱动器与镜框固定体的连接；所述的锁紧器包括限位凸台和锁紧螺纹柱，限位凸台和锁紧螺纹柱连接，限位凸台上设置多个圆周均布的旋紧槽，旋紧槽用于使锁紧器在锁紧器容纳槽中的旋入或旋出，限位凸台和锁紧螺纹柱中心设置中心孔；所述的锁紧螺纹柱设置在锁紧螺纹孔中，且与锁紧螺纹孔配合；驱动器穿过中心孔作用到镜框驱动部位上。

本发明所述的驱动器包括驱动轴、驱动器安装凸台和驱动器主体，驱动器安装凸台与驱动器安装面连接，驱动轴穿过中心孔作用到镜框驱动部位上。

本发明所述的镜框驱动部位上设置两个狭长片状结构，两个狭长片状结构分别连接镜框固定体和镜框可动体。

本发明所述的限位凸台上设置八个圆周均布的旋紧槽。

本发明的有益效果是：本发明提供一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，与现有技术相对比，本发明的锁紧装置能避免光刻投影物镜在运输和搬运过程中由于冲击或震动导致驱动器和可动元件组件损坏的问题，进而降低光刻投影物镜成像质量劣化甚至物镜自身损坏的危险，该装置具有结构简单、便于操作、可靠性高和通用性好等突出优点，可以很好的适用于各种类型可动机构的驱动器安装位置，实现可靠锁紧。

附图说明

图1是本发明用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置的立体装配示意图；

图2是本发明用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置的局部剖开示意图；

图3是本发明可动元件组件的驱动部位立体示意图；

图4是本发明可动元件组件的驱动部位的俯视示意图；

图5是本发明可动元件组件的驱动部位的正视半剖示意图；

图6是本发明锁紧器的立体结构示意图；

图7是本发明锁紧器的正视半剖示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步详细说明。

如图1和图2所示，本发明用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，包括：驱动器1、可动元件组件的驱动部位2、锁紧器3和紧固螺钉4，所述的驱动器1包括驱动轴1-1、驱动器安装凸台1-2和驱动器主体1-3。

如图3、图4和图5所示，可动元件组件的驱动部位2包括镜框固定体2-1、镜框可动体2-2和镜框驱动部位2-3；镜框固定体2-1用于安装驱动器1、锁紧器3和紧固螺钉4；镜框可动体2-2用于支撑光学元件并实现机构运动；镜框驱动部位2-3用于与驱动器驱动轴1-1相接触，并通过两个狭长片状结构分别与镜框固定体2-1和镜框可动体2-2相连，将驱动器驱动轴1-1的运动传递到镜框可动体2-2上；