[发明专利]一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置

权利要求书

1.一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，包括：

驱动器(1)、可动元件组件的驱动部位(2)和紧固螺钉(4)，其特征在于，所述的锁紧装置还包括锁紧器(3)；

所述的可动元件组件的驱动部位(2)包括镜框固定体(2-1)、镜框可动体(2-2)和镜框驱动部位(2-3)，镜框驱动部位(2-3)分别与镜框固定体(2-1)和镜框可动体(2-2)连接；

所述的镜框固定体(2-1)设置紧固螺钉安装孔(2-1-1)、锁紧器容纳槽(2-1-2)、锁紧螺纹孔(2-1-3)和驱动器安装面(2-1-4)，紧固螺钉安装孔(2-1-1)用于安装紧固螺钉(4)，驱动器安装面(2-1-4)用于驱动器(1)与镜框固定体(2-1)的连接；

所述的锁紧器(3)包括限位凸台(3-1)和锁紧螺纹柱(3-2)，限位凸台(3-1)和锁紧螺纹柱(3-2)连接，限位凸台(3-1)上设置多个圆周均布的旋紧槽(3-1-1)，旋紧槽(3-1-1)用于使锁紧器(3)在锁紧器容纳槽(2-1-2)中的旋入或旋出，限位凸台(3-1)中心和锁紧螺纹柱(3-2)中心设置中心孔(3-3)；所述的锁紧螺纹柱(3-2)设置在锁紧螺纹孔(2-1-3)中，且与锁紧螺纹孔(2-1-3)配合；驱动器(1)穿过中心孔(3-3)作用到镜框驱动部位(2-3)上。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，其特征在于，所述的驱动器(1)包括驱动轴(1-1)、驱动器安装凸台(1-2)和驱动器主体(1-3)，驱动器安装凸台(1-2)与驱动器安装面(2-1-4)连接，驱动轴(1-1)穿过中心孔(3-3)作用到镜框驱动部位(2-3)上。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，其特征在于，所述的镜框驱动部位(2-3)上设置两个狭长片状结构，两个狭长片状结构分别连接镜框固定体(2-1)和镜框可动体(2-2)。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置，其特征在于，所述的限位凸台(3-1)上设置八个圆周均布的旋紧槽(3-1-1)。