[发明专利]一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管

摘要

本发明公开了一种薄膜晶体管制作方法、系统及薄膜晶体管，通过将薄膜晶体管中的扫描线路与触控线路中的第一轴线路同层、薄膜晶体管中的绝缘层与触控线路中的绝缘层同层、薄膜晶体管中的数据线路与触控线路的第二轴线路同层设置，使得实现触控模式的输入装置与原来的薄膜晶体管设置为一体，无需外置输入装置，避免体积增大，同时，触控线路的各层与原薄膜晶体管的各层同层设置，有效解决了外置输入装置使透过效果受影响的问题。

主权项

一种薄膜晶体管制作方法，其特征在于，包括：选取驱动基板；在所述驱动基板上沉积金属导电膜层，形成栅电极图案及扫描线路，所述栅电极图案及扫描线路位于扫描线路层上；制作触控线路的第一轴线路，使所述触控线路的第一轴线路位于所述扫描线路层上；在所述扫描线路层的上方沉积栅绝缘层，所述栅绝缘层位于绝缘层上；制作触控线路的绝缘层，使所述触控线路的绝缘层位于所述绝缘层上；在所述绝缘层上方形成半导体层，在所述半导体层上方形成源电极、漏电极及数据线路，所述源电极、漏电极及数据线路位于数据线路层；制作触控线路的第二轴线路，使所述触控线路的第二轴线路位于所述数据线路层上。