[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构

摘要

本发明涉及直拉单晶炉设备，旨在提供一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构。该种用于单晶硅生长炉的掺杂机构包括推动轴组件、真空腔体、磁钢、磁钢安装套、装料勺和操作杆，用于向单晶硅生长炉的石英坩埚内掺杂物质，石英坩埚设置在隔离阀座内，隔离阀座的内部是真空区域，隔离阀座设有一个连通口，真空腔体与隔离阀座的连通口密封连接，真空腔体的内部是真空区域；装料勺的末端与推动轴组件通过螺纹连接，并通过直线运动和旋转运动实现向石英坩埚内投放物质。本发明通过操作杆控制，利用磁力作用实现直线运动和旋转运动，从而将事先储存在装料勺里的掺杂物质投入石英坩埚中，能够在单晶炉拉制过程中达到所需元素掺杂的目的。

主权项

一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构，用于向单晶硅生长炉的石英坩埚内掺杂物质，石英坩埚设置在隔离阀座内，隔离阀座的内部是真空区域，其特征在于，所述一种用于单晶硅生长炉的掺杂机构包括推动轴组件、真空腔体、磁钢、磁钢安装套、装料勺和操作杆；隔离阀座设有一个连通口，真空腔体通过螺钉和O形圈，与隔离阀座的连通口密封连接，真空腔体的内部是真空区域；装料勺的末端与推动轴组件通过螺纹连接，装料勺用于盛装物质，并通过直线运动和旋转运动实现向石英坩埚内投放物质；所述推动轴组件设在真空腔体内，推动轴组件包括滚动副、推动轴、铁素体元件及直线运动轴承；滚动副包括保持架、滚珠，保持架焊接在推动轴上，用于保证推动轴组件能在真空腔体内进行旋转运动，直线运动轴承用于保证推动轴组件能在真空腔体内做直线运动；铁素体元件为铁磁性材料制备的原件，焊接在推动轴上，用于通过磁力作用与外部的磁钢吸合一起运动；磁钢通过磁钢固定套设置在真空腔体外，且磁钢在真空腔体外部对称设置，操作杆与磁钢固定套连接固定；能通过拉动操作杆做直线运动，带动磁钢固定套和磁钢运动，进而利用磁钢的磁力带动推动轴组件和装料勺运动，使装料勺到达隔离阀座内投料位置后，通过拉动操作杆做径向旋转运动，从实现装料勺一起运动并翻转，完成投料。