[发明专利]一种利于稳定转化率的反应装置有效

专利信息
申请号: 201410398217.2 申请日: 2014-08-13
公开(公告)号: CN104178746A 公开(公告)日: 2014-12-03
发明(设计)人: 赵红军;刘鹏;魏武;张俊业;毕绿燕;童玉珍;张国义 申请(专利权)人: 东莞市中镓半导体科技有限公司;北京大学
主分类号: C23C16/34 分类号: C23C16/34;C23C16/455
代理公司: 代理人:
地址: 523518 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种涉及气态反应物(简称第一前驱物)和固态或液态反应物(简称第二前驱物)参与反应的反应装置,特殊的导流管和挡板结构,有利于反应物的充分接触,有效解决了第一前驱物利用率不高,第二前驱物消耗对第一前驱物转化率影响大等问题。高转化率有利于降低生产成本,稳定的反应率有利于降低工艺难度。
搜索关键词: 一种 利于 稳定 转化 反应 装置
【主权项】:
一种利于稳定转化率的反应装置,其特征在于,包括导流管和挡板结构,所述导流管侧壁上分布有内外连通口;所述挡板,将反应装置分隔为缓慢流动区和快速流动区,并在快速流动区与每一个缓慢流动区之间形成一个狭小通道,狭小通道流出方向(靠快速流动区方向)在装置出口通道的圆周方向。
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