[发明专利]一种托盘及承载装置

摘要

本发明提供了一种托盘及承载装置，托盘包括托盘本体和位于托盘本体上的绝缘体，在绝缘体上设置有多个用于承载基片的工艺位，并且，在绝缘体内设置有吸附电极，吸附电极的数量和位置与基片的数量和位置一一对应，借助每个吸附电极在其下方与直流电源电连接，以采用静电吸附方式固定与之对应的基片，并且，基片的面积大于与之对应的吸附电极的面积，用以遮挡该吸附电极。本发明提供的托盘，其可以提高绝缘体的未被基片遮挡的区域的耐压，因而在提高直流电源输出电压来保证静电吸附力的同时可以降低绝缘体被击穿的可能性，从而可以提高托盘的使用寿命，进而可以降低投入成本和提高经济效益。

主权项

1.一种托盘，所述托盘包括托盘本体和位于托盘本体上的绝缘体，在所述绝缘体上设置有多个用于承载基片的工艺位，并且，在所述绝缘体内设置有吸附电极；其特征在于，所述吸附电极的数量和位置与所述基片的数量和位置一一对应，借助每个吸附电极在其下方与直流电源电连接，以采用静电吸附方式固定与之对应的基片，并且，所述基片的面积大于与之对应的所述吸附电极的面积，用以遮挡所述吸附电极，以使所述吸附电极距离所述绝缘体的未被基片遮挡的区域上表面之间的距离为二者之间的倾斜距离。