[发明专利]一种利用激光刻蚀制备透明金属引线结构的方法有效

专利信息
申请号: 201410384560.1 申请日: 2014-08-05
公开(公告)号: CN105374696B 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 林晓辉;徐厚嘉;平财明;刘春雷;方健聪;刘升升 申请(专利权)人: 上海蓝沛信泰光电科技有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 李仪萍
地址: 201806 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种利用激光刻蚀制备透明金属引线结构的方法,包括:1)对透明基材进行表面处理,以增加表面能,提高粘附力;2)提供导电银浆料,于所述透明基材表面整版进行导电银层涂布;3)采用激光刻蚀机按照预设的图形对整版的导电银层进行切分,形成由切分线分割的具有预设功能的导电银纳米线路结构。本发明通过合理的图形设计,可以使得仅仅采用20微米的间距就可以分割两条银线,同时设计冗余线,对外观一致性和功能可靠性都加以了改善。采用多个激光头同时工作,可以大大提高工作效率。从应用角度来看,透明导电薄膜具有很广的应用领域,尤其是大屏幕触控和透明薄膜开关。采用本发明的工艺生产的薄膜,成本低,耐弯折,可靠性高。
搜索关键词: 一种 利用 激光 刻蚀 制备 透明 金属 引线 结构 方法
【主权项】:
1.一种利用激光刻蚀制备透明金属引线结构的方法,其特征在于,包括步骤:1)提供一透明基材,对透明基材进行表面处理,以增加透明基材的表面能,提高粘附力;2)提供导电银浆料,于所述透明基材表面整版进行导电银层涂布;3)采用激光刻蚀机按照预设的图形对整版的导电银层进行切分,形成由切分线分割的具有预设功能的导电银纳米线路结构;其中,步骤3)的所述切分线包括第一切分线、第二切分线及冗余切分线,所述第一切分线与第二切分线呈曲折状依次相交,所述冗余切分线依次经过所述第一切分线及第二切分线的各个交点,以保证导电银纳米线路结构的可靠分割,避免短路现象。
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