[发明专利]一种基于压曲放大的引信安保装置用V型MEMS执行器

摘要

一种基于压曲放大的引信安保装置用V型MEMS执行器，包括单晶硅衬底，单晶硅衬底上制作有加速膛孔，二氧化硅绝缘层在单晶硅衬底上生长，将单晶硅结构层与生长了二氧化硅绝缘层的单晶硅衬底键合，金属电极层沉积在单晶硅结构层的锚点上，MEMS执行器在单晶硅结构层中制作，利用刻蚀技术制作可动结构层，利用热电效应来产生相应的输出，利用MEMS相关工艺制作的器件体积小，具有低成本、高智能、易集成的特点。

主权项

一种基于压曲放大的引信安保装置用V型MEMS执行器，其特征在于：包括单晶硅衬底(1)，单晶硅衬底(1)上制作有直径为150～180um的加速膛孔(5)，加速膛孔(5)是飞片材料的通道，二氧化硅绝缘层(2)在单晶硅衬底(1)上生长，生长厚度为2～3um，将单晶硅结构层(3)与生长了二氧化硅绝缘层(2)的单晶硅衬底(1)键合，单晶硅结构层(3)的厚度为50～100um，金属电极层(4)沉积在单晶硅结构层(3)的锚点(3‑2)上；还包括锚点(3‑2)，成阵列结构的V型梁热电驱动单元(3‑1)的两端与锚点(3‑2)连接，中间臂(3‑3)位于V型梁热电驱动单元(3‑1)的中间并与之相互固定，连接臂(3‑4)的两端分别与上下两侧放大梁(3‑5)的首端相连接，连接臂(3‑4)的中间部分与中间臂(3‑3)的首端连接，隔板(3‑6)分别与左右两侧放大梁(3‑5)的末端相连接，隔板(3‑6)将加速膛孔(5)挡住；除去与锚点(3‑2)键合的部分，其余的二氧化硅绝缘层(2)将被腐蚀掉，使热电驱动单元(3‑1)、中间臂(3‑3)、连接臂(3‑4)、放大梁(3‑5)以及隔板(3‑6)悬空，形成最终的可动结构。