[发明专利]流量控制方法有效
| 申请号： | 201410367261.7 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105302169B | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 代迎伟;金一诺;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种流量控制方法，至少使用流量计、控制单元、电磁阀及流量控制器构建PID闭环控制系统，该方法包括如下步骤：建立控制单元输出至电磁阀的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型，获取流量起始变化点Fmin及流量终止变化点Fmax，在Fmin至Fmax范围内，供液管道内液体的流量随控制电流的增大而增大；设定供液管道内液体的流量值，该流量值的取值范围为Fmin至Fmax；根据建立的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型，计算与设定的流量值相对应的控制电流值，并将控制电流值输出至电磁阀，电磁阀接收控制电流后输出具有相应压力的CDA至流量控制器，开始PID调节，直至供液管道内液体的流量稳定。本发明能够提高流量控制精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 流量 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种流量控制方法，至少使用流量计、控制单元、电磁阀及流量控制器构建PID闭环控制系统，其特征在于，包括如下步骤：建立控制单元输出至电磁阀的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型，获取流量起始变化点Fmin及流量终止变化点Fmax，在Fmin至Fmax范围内，供液管道内液体的流量随控制电流的增大而增大；设定供液管道内液体的流量值，该流量值的取值范围为Fmin至Fmax；根据建立的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型，计算与设定的流量值相对应的控制电流值，并将控制电流值输出至电磁阀，电磁阀接收控制电流后输出具有相应压力的CDA至流量控制器，开始PID调节，直至供液管道内液体的流量稳定。
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