[发明专利]流量控制方法有效
申请号: | 201410367261.7 | 申请日: | 2014-07-29 |
公开(公告)号: | CN105302169B | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 代迎伟;金一诺;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张振军 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流量 控制 方法 | ||
1.一种流量控制方法,至少使用流量计、控制单元、电磁阀及流量控制器构建PID闭环控制系统,其特征在于,包括如下步骤:
建立控制单元输出至电磁阀的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型,获取流量起始变化点Fmin及流量终止变化点Fmax,在Fmin至Fmax范围内,供液管道内液体的流量随控制电流的增大而增大;
设定供液管道内液体的流量值,该流量值的取值范围为Fmin至Fmax;
根据建立的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型,计算与设定的流量值相对应的控制电流值,并将控制电流值输出至电磁阀,电磁阀接收控制电流后输出具有相应压力的CDA至流量控制器,开始PID调节,直至供液管道内液体的流量稳定;
其中,建立控制单元输出至电磁阀的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型的方法包括:生成流量校准表;根据生成的流量校准表建立控制单元输出至电磁阀的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型;
建立控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型后,还进一步包括,
设定供液管道内液体的流量值,该流量值的取值范围为Fmin至Fmax;
根据允许的流量误差范围,确定一流量范围;
根据建立的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型,计算与确定的流量范围相对应的控制电流的取值范围;
在该控制电流的取值范围内,取最小控制电流值Cmin’和最大控制电流值Cmax’,然后根据流量校准表的生成方法生成新的流量校准表;
根据新生成的流量校准表建立新的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型并取代前一次建立的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型。
2.根据权利要求1所述的流量控制方法,其特征在于,流量校准表的生成方法包括:
设定最小控制电流值Cmin和最大控制电流值Cmax;
将最大控制电流值Cmax与最小控制电流值Cmin之间的控制电流值进行若干等分,获得若干个控制电流值;
将最大控制电流值Cmax输送至电磁阀,电磁阀接收该最大控制电流值Cmax后输出具有相应压力的CDA至流量控制器,维持一时间段,流量计计测该时间段内供液管道内液体的流量并将计测值变换为电信号输出至控制单元,控制单元将电信号转换为液体的流量值并计算该时间段内液体的平均流量值,该平均流量值即为与该最大控制电流值Cmax相对应的供液流量值,以此类推,从最大控制电流值Cmax开始直至最小控制电流值Cmin,依次将各控制电流值输送至电磁阀,得到与各控制电流值相对应的供液流量值,生成流量校准表。
3.根据权利要求2所述的流量控制方法,其特征在于,所述最小控制电流值Cmin为电磁阀额定的最小电流值,最大控制电流值Cmax为电磁阀额定的最大电流值。
4.根据权利要求1所述的流量控制方法,其特征在于,应用时,设定液体流量值后,根据新生成的控制电流与供液管道内液体的流量之间的函数模型,计算与设定的流量值相对应的控制电流值,并将控制电流值输出至电磁阀,电磁阀接收控制电流后输出具有相应压力的CDA至流量控制器,开始PID调节,直至供液管道内液体的流量稳定。
5.根据权利要求1或4所述的流量控制方法,其特征在于,还包括记录流量稳定后供液管道内液体的流量值及对应的控制电流值,当下一次设定的流量值与记录的流量值相同时,控制单元直接输出记录的与该流量值相对应的控制电流值至电磁阀。
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