[发明专利]负型厚膜光阻组合物及其用途有效
| 申请号： | 201410305718.1 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104570596B | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 陈怡静;李晏成;周乃天;黄新义 | 申请（专利权）人： | 台湾永光化学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 中国台湾台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明系有关于一种负型厚膜光阻组成物，包括：(A)20至50重量百分比的碱可溶树脂，由复数种单体聚合而成，其中，该些单体包含如式(1A)及式(1B)所示的化合物，且基于该些单体占碱可溶树脂的重量比，式(1A)化合物与式(1B)化合物两者共占20至60％，且于式(1A)及式(1B)的X各自独立为氢、甲基或乙基； |
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| 搜索关键词： | 负型厚膜光阻 重量百分比 可溶树脂 组成物 双酚芴衍生物单体 乙烯性不饱和双键 甲基或乙基 单体聚合 光起始剂 余量溶剂 交联剂 重量比 复数 | ||
【主权项】：
1.一种负型厚膜光阻组合物，包括：(A)20至50重量百分比的碱可溶树脂，由多种单体聚合而成，其中，该单体包含式(1A)及式(1B)所示的化合物，且基于该单体占碱可溶树脂的重量比，式(1A)化合物及式(1B)化合物两者共占20至60％，且在式(1A)及式(1B)中的X各自独立为氢、甲基或乙基；![]()
(B)10至30重量百分比的交联剂，为一具有至少一乙烯性不饱和双键的双酚芴衍生物，该双酚芴衍生物为下式(2)所示的化合物；![]()
其中，m、n、x、及y各自独立为0至2的正整数，且m、n、x及y至少一者不为0；(C)5至15重量百分比的光引发剂；以及(D)余量溶剂。
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