[发明专利]负型厚膜光阻组合物及其用途

权利要求书

1.一种负型厚膜光阻组合物，包括：

(A)20至50重量百分比的碱可溶树脂，由多种单体聚合而成，其中，该单体包含式(1A)及式(1B)所示的化合物，且基于该单体占碱可溶树脂的重量比，式(1A)化合物及式(1B)化合物两者共占20至60％，且在式(1A)及式(1B)中的X各自独立为氢、甲基或乙基；

(B)10至30重量百分比的交联剂，为一具有至少一乙烯性不饱和双键的双酚芴衍生物，该双酚芴衍生物为下式(2)所示的化合物；

其中，m、n、x、及y各自独立为0至2的正整数，且m、n、x及y至少一者不为0；

(C)5至15重量百分比的光引发剂；以及

(D)余量溶剂。

2.如权利要求1所述的负型厚膜光阻组合物，其中，聚合形成该碱可溶树脂的该单体还包括式(1C)化合物、式(1D)化合物或其组合；

3.如权利要求1所述的负型厚膜光阻组合物，其中，该碱可溶树脂的重量平均分子量为8,000至30,000克/摩尔，且其聚合度分布性指数为1至3。

4.如权利要求2所述的负型厚膜光阻组合物，其中，该碱可溶树脂由多种单体聚合而成，该单体为式(1A)、式(1B)、式(1C)、及式(1D)所示化合物，其中，基于该单体占碱可溶树脂的总重量比，式(1A)化合物与式(1B)化合物共占20至60％，式(1C)化合物占10至30％，式(1D)化合物占10至20％，且在式(1A)及式(1B)中的X各自独立为氢、甲基或乙基，

5.如权利要求1所述的负型厚膜光阻组合物，其中，m+n+x+y大于或等于2。

6.如权利要求1所述的负型厚膜光阻组合物，其中，该负型光阻组合物包括0重量百分比至10重量百分比之间的抑制剂。

7.如权利要求1所述的负型厚膜光阻组合物，其中，该负型光阻组合物包括0重量百分比至10重量百分比之间的附着促进剂。

8.如权利要求1所述的负型厚膜光阻组合物，其中，该负型光阻组合物包括0重量百分比至10重量百分比之间的流平剂。

9.一种权利要求1至8任一项所述的负型厚膜光阻组合物的用途，是将该负型厚膜光阻组合物用于一电镀工艺。