[发明专利]一种异质结场阻结构的IGBT及其制备方法有效
申请号: | 201410304469.4 | 申请日: | 2014-06-28 |
公开(公告)号: | CN104779277B | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 杨凡力 | 申请(专利权)人: | 上海提牛机电设备有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06;H01L21/331 |
代理公司: | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人: | 周涛 |
地址: | 201405*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种异质结场阻结构的IGBT,其包括发射极、栅极、漂移区、缓冲区、异质结集电极和金属焊接层,所述异质结集电极设置于IGBT底部,所述缓冲区和漂移区依次叠加在集电极上,所述发射极和栅极设置于漂移区顶部,发射极和栅极并排设置,所述集电极表面还设有金属焊接层。本发明还公开了一种异质结场阻结构IGBT的制备方法。本发明的优点在于用简单的方法制造异质结IGBT的集电区,降低接触电阻和饱和压降。 | ||
搜索关键词: | 一种 异质结场阻 结构 igbt 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种异质结场阻结构的IGBT,其特征在于,包括发射极、栅极、漂移区、缓冲区、异质结集电极和金属焊接层,所述异质结集电极设置于IGBT底部,所述缓冲区和漂移区依次叠加在异质结集电极上,所述发射极和栅极设置于漂移区顶部,发射极和栅极并排设置,所述金属焊接层设置于异质结电极表面。
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