[发明专利]具有两个惯性传感器的传感器系统有效
| 申请号： | 201410290742.2 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104251920B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | D·C·迈泽尔;T·卡特曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P3/44;B81B7/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种传感器系统，其具有至少两个微机械惯性传感器，所述至少两个微机械惯性传感器能够运动地与一个衬底连接，其中每一个惯性传感器具有一个功能层，其中所述两个惯性传感器的功能层的厚度不同，其中所述两个惯性传感器彼此并排地设置在所述衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 两个 惯性 传感器 系统 | ||
【主权项】：
1.一种传感器系统(1)，其具有至少两个微机械惯性传感器(3，4，5)，所述至少两个微机械惯性传感器能够运动地与一个衬底(2)连接，其中，每一个惯性传感器(3，4)具有一个功能层(29)，其中，所述至少两个惯性传感器(3，4，5)的功能层(29)的厚度不同，其中，所述至少两个惯性传感器(3，4，5)彼此并排地设置在所述衬底(2)上，其中，至少一个第一固定电极(11)布置在第一惯性传感器(3)下方并且沿垂直于所述衬底(2)的方向以第一高度从所述衬底(2)延伸至所述第一惯性传感器(3)的功能层(29)的区域中，其中，至少一个第二固定电极(12)布置在第二惯性传感器(4)下方并且沿垂直于所述衬底(2)的方向以第二高度从所述衬底(2)延伸至所述第二惯性传感器(4)的功能层(29)的区域中，其中，所述第一高度与所述第二高度不同。
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