[发明专利]具有两个惯性传感器的传感器系统

权利要求书

1.一种传感器系统(1)，其具有至少两个微机械惯性传感器(3，4，5)，所述至少两个微机械惯性传感器能够运动地与一个衬底(2)连接，其中，每一个惯性传感器(3，4)具有一个功能层(29)，其中，所述两个惯性传感器(3，4，5)的功能层(29)的厚度不同，其中，所述两个惯性传感器(3，4，5)彼此并排地设置在所述衬底(2)上。

2.根据权利要求1所述的传感器系统，其中，至少一个惯性传感器(3)构造为加速度传感器，并且第二惯性传感器(4)构造为转速传感器。

3.根据权利要求1所述的传感器系统，其中，两个惯性传感器(3，4)构造为加速度传感器，或者两个惯性传感器(3，4)构造为转速传感器。

4.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，第一惯性传感器(3)具有格栅结构(14，15)，其中，所述格栅结构(14，15)由所述功能层(29)构成，其中，所述格栅结构(14，15)通过多个弹簧元件(9)与所述衬底(2)连接。

5.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，第二惯性传感器(5)具有摆臂质量(16)，其中，所述摆臂质量(16)由所述功能层构成，其中，所述摆臂质量(16)通过弹簧(18)固定在所述衬底(2)上。

6.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，一个惯性传感器(5)具有蹦床质量(25)，所述蹦床质量由所述功能层(29)构成，其中，所述蹦床质量(25)通过弹簧(9)固定在所述衬底(2)上。

7.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，所述惯性传感器(3，4，5)的功能层(29)具有0.5μm和100μm之间的厚度，并且优选地层厚度方面的差至少是1μm。

8.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，所述第一惯性传感器(3)的功能层(29)具有5μm和50μm之间的厚度。

9.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，所述第二惯性传感器(5)的功能层(29)具有0.5μm和5μm之间的厚度。

10.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，所述惯性传感器(3，4，5)的功能层(29)构造为外延半导体层。

11.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，所述惯性传感器(3，4，5)分别设置在气体密封的空腔(21，22，23)中，其中，在所述空腔(21，22，23)中存在不同的气体压力。

12.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，至少一个惯性传感器(3，4，5)的功能层(29)至少具有多晶硅或由多晶硅构成。

13.根据权利要求7至12中任一项所述的传感器系统，其中，优选构造为加速度传感器的所述第一惯性传感器(3)的功能层(29)具有0.5μm和5μm之间的范围内的厚度，其中，优选构造为加速度传感器的所述第二惯性传感器(4)的功能层(29)具有5μm和50μm之间的范围内的厚度，其中，例如构造为转速传感器的第三惯性传感器(5)的功能层(29)具有5μm和50μm之间的范围内的厚度。

14.根据权利要求13所述的传感器系统，其中，所述第一惯性传感器(3)检测垂直于所述衬底(2)的z方向上的加速度，其中，所述第二惯性传感器(4)检测平行于所述衬底(2)的x方向上的加速度。

15.根据以上权利要求中任一项所述的传感器系统，其中，至少两个惯性传感器(3，4)的功能层(29)通过连接元件(30)彼此连接。