[发明专利]使用成像设备以调整半导体元件的处理设备的装置和方法

摘要

本发明一种处理电子元件的装置，包括旋转设备和多个围绕其环形设置的拾取头，每个拾取头固定电子元件；位置确定设备，用于确定电子元件被各自拾取头固定时的布置；基准标记，设置在指明由位置确定设备所确定的电子元件布置的位置；第一成像设备，相对于基准标记设置；至少一个处理设备，用于处理电子元件。第一成像设备捕获包含有基准标记和至少一个处理设备的至少一个图像，以便根据从第一成像设备所捕获的至少一个图像中所提取的、基准标记和至少一个处理设备之间的偏差，调整至少一个处理设备的位置以相对于电子元件的布置对齐定位至少一个处理设备。一种调整用于处理电子元件的装置的至少一个处理设备位置的方法也被公开。

主权项

一种用于处理电子元件的装置，该装置包含有：旋转设备和多个拾取头，该多个拾取头围绕该旋转设备环形设置，每个拾取头被操作来固定电子元件；位置确定设备，其用于确定电子元件被各自的拾取头固定时的布置；基准标记，其设置在指明由位置确定设备所确定的电子元件被各自的拾取头固定时所布置的位置处；第一成像设备，其相对于基准标记设置；以及至少一个处理设备，其用于处理电子元件，其中，第一成像设备在被操作来捕获至少一个图像，图像中包含有基准标记和至少一个处理设备，以便于根据从第一成像设备所捕获的至少一个图像中所提取的、基准标记和至少一个处理设备之间的偏差，至少一个处理设备的位置可以被调整以相对于电子元件在被各自拾取头固定时的布置对齐定位该至少一个处理设备。