[发明专利]使用成像设备以调整半导体元件的处理设备的装置和方法

权利要求书

1.一种用于处理电子元件的装置，该装置包含有：

旋转设备和多个拾取头，该多个拾取头围绕该旋转设备环形设置，每个拾取头被操作来固定电子元件；

位置确定设备，其用于确定电子元件被各自的拾取头固定时的布置；

基准标记，其设置在指明由位置确定设备所确定的电子元件被各自的拾取头固定时所布置的位置处；

第一成像设备，其相对于基准标记设置；以及

至少一个处理设备，其用于处理电子元件，

其中，第一成像设备在被操作来捕获至少一个图像，图像中包含有基准标记和至少一个处理设备，以便于根据从第一成像设备所捕获的至少一个图像中所提取的、基准标记和至少一个处理设备之间的偏差，至少一个处理设备的位置可以被调整以相对于电子元件在被各自拾取头固定时的布置对齐定位该至少一个处理设备。

2.如权利要求1所述的装置，其中，该位置确定设备为第二成像设备，该第二成像设备被操作来确定电子元件的布置。

3.如权利要求2所述的装置，其中，该基准标记是可移动的，以相对于该第二成像设备的光学中心对齐定位。

4.如权利要求3所述的装置，其中，该第一成像设备是可移动的，以相对于对齐后的基准标记对齐定位该第一成像设备的光学中心。

5.如权利要求4所述的装置，其中， 该至少一个处理设备是可移动的，以相对于该第一成像设备的光学中心对齐定位。

6.如权利要求1所述的装置，其中，该至少一个处理设备是机动化的，并可被操作来相对于电子元件的布置自动地对齐定位。

7.如权利要求1所述的装置，其中，该位置确定设备是精细定位器模块，该精细定位器模块被操作来设定电子元件被各自的拾取头固定时的布置。

8.如权利要求1所述的装置，该装置还进一步包含有：

光学设备，其被操作来传送该基准标记和该至少一个处理设备的各自的图像至第一成像设备。

9.如权利要求8所述的装置，其中，该光学设备是选自以下组群的设备，该组群包括：i）分光器；ii）反光镜；和iii）棱镜。

10.一种调整用于处理电子元件的装置的至少一个处理设备的位置的方法，该装置包含有旋转设备和多个拾取头，该多个拾取头围绕该旋转设备圆周设置，该方法包含有以下步骤：

使用位置确定设备确定电子元件被各自的拾取头固定时的布置；

使用第一成像设备捕获至少一个图像，图像中包含有基准标记和至少一个处理设备，其中基准标记设置在指明由位置确定设备所确定的电子元件的布置的位置处；以及

根据从第一成像设备所捕获的至少一个图像中所提取的、基准标记和至少一个处理设备之间的偏差，调整该至少一个处理设备的位置以相对于电子元件的布置对齐定位该至少一个处理设备。

11.如权利要求10所述的方法，其中，该位置确定设备为第二成像设备，该方法包含有以下步骤：捕获电子元件的各个图像以确定电子元件的布置。

12.如权利要求11所述的方法，该方法还包含有以下步骤：定位第二成像设备，以便于第二成像设备的光学中心相对于电子元件的布置对齐定位。

13.如权利要求12所述的方法，该方法还包含有以下步骤：定位该基准标记，以致于该基准标记相对于该第二成像设备的光学中心对齐定位。

14.如权利要求13所述的方法，该方法还包含有以下步骤：定位该第一成像设备，以致于该第一成像设备的光学中心相对于对齐后的基准标记对齐定位。

15.如权利要求14所述的方法，其中，调整该至少一个处理设备的位置的步骤包含有：相对于该第一成像设备的光学中心对齐定位该至少一个处理设备。

16.如权利要求10所述的方法，其中，该至少一个处理设备是机动化的，且调整该至少一个处理设备的位置的步骤是自动地完成的。