[发明专利]一种四氯化硅提纯工艺及系统有效
| 申请号： | 201410241853.4 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN104030293A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 谭军;方卫民;刘国晶;汪建阳;范建平;徐慧芬;王德球;闻涛 | 申请（专利权）人： | 浙江富士特集团有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 324102 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种四氯化硅提纯工艺及系统，该工艺包括以下步骤：(1)在催化剂作用下，将汽化的粗四氯化硅与氯气在氮气保护下进行反应，反应完成后对反应物进行冷凝，使四氯化硅液化；(2)将冷凝获得的液相依次通过活性Al2O3吸附、第一次精馏、活性硅胶吸附、第二次精馏，制得纯度大于99.99999％的四氯化硅。该系统包括次连接的汽化器、固定床反应器、气液分离器、活性氧化铝吸附柱、第一级精馏塔、活性硅胶吸附柱、第二级精馏塔。本发明利用氯气与粗四氯化硅中的含氢化合物反应，气液分离后，再利用交替设置的吸附和精馏除去粗四氯化硅中的氯化物，可以让四氯化硅的纯度达到99.99999％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 提纯 工艺 系统 | ||
【主权项】：
一种四氯化硅提纯工艺，包括以下步骤：(1)将氯气和汽化的工业级四氯化硅通入固定床反应器在催化剂作用下进行反应，反应完成后，将输出固定床反应器的气相产物冷凝，气液分离获得液化的四氯化硅粗品；(2)将液化的四氯化硅粗品依次通过活性Al2O3吸附、第一次精馏、活性硅胶吸附、第二次精馏，制得纯度大于99.99999％的四氯化硅。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江富士特集团有限公司，未经浙江富士特集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410241853.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
