[发明专利]遮盖自动识别装置

摘要

本发明公开了一种遮盖自动识别装置，可自动识别出与腔体接合的遮盖的尺寸，进而识别出腔体内的晶圆的大小。其技术方案为：本发明是在腔体和遮盖接合的位置上安装两个传感器，然后在每一个遮盖的与传感器对应的位置上开设两个凹槽，这两个凹槽的深浅不同，传感器可以根据凹槽的深浅反馈出不同的信号值，系统根据两个传感器反馈来的信号值判断出遮盖的尺寸。

主权项

一种遮盖自动识别装置，用于识别与腔体接合的遮盖的尺寸类型，包括：第一传感器，位于腔体上的遮盖接合处；第二传感器，位于腔体上的遮盖接合处，与第一传感器的位置并列；第一凹槽，位于遮盖上，且遮盖与腔体接合时第一凹槽的位置与第一传感器的位置相对应；第二凹槽，位于遮盖上，与第一凹槽的位置并列，且遮盖与腔体接合时第二凹槽的位置与第二传感器的位置相对应；其中第一凹槽与第二凹槽的深度不同，第一传感器和第二传感器基于第一凹槽和第二凹槽的不同深度反馈不同的信号值，基于信号值识别遮盖的尺寸类型。