[发明专利]抛光盘及其冷却装置有效
| 申请号： | 201410235835.5 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105290956B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 杨贵璞;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种抛光盘的冷却装置，应用于抛光盘，该冷却装置包括：开设在抛光盘上的冷却水入口和冷却水出口；开设在抛光盘中的环形的回液槽和回液通道，回液通道的一端与回液槽连通，回液通道的另一端与冷却水出口连通；开设在抛光盘中的冷却水沟槽，冷却水沟槽位于抛光盘中被回液槽包围的区域，冷却水沟槽均匀分布且呈树枝状，每一冷却水沟槽包括主沟槽和侧沟槽，主沟槽的一端与冷却水入口连通，主沟槽的另一端与回液槽连通，侧沟槽的一端分别与主沟槽连通，侧沟槽的另一端分别与回液槽连通。本发明还揭示了一种采用上述冷却装置的抛光盘。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 及其 冷却 装置 | ||
【主权项】：
1.一种抛光盘的冷却装置，应用于抛光盘，其特征在于，该冷却装置包括：开设在抛光盘上的冷却水入口和冷却水出口；开设在抛光盘中的环形的回液槽和回液通道，回液通道的一端与回液槽连通，回液通道的另一端与冷却水出口连通；开设在抛光盘中的冷却水沟槽，冷却水沟槽位于抛光盘中被回液槽包围的区域，冷却水沟槽均匀分布且呈树枝状，每一冷却水沟槽包括主沟槽和侧沟槽，主沟槽的一端与冷却水入口连通，主沟槽的另一端与回液槽连通，侧沟槽的一端分别与主沟槽连通，侧沟槽的另一端分别与回液槽连通，使得抛光盘的圆心至抛光盘的外边缘的半径范围内的中间区域沟槽的分布密度高于抛光盘的其他区域。
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