[发明专利]抛光盘及其冷却装置

权利要求书

1.一种抛光盘的冷却装置，应用于抛光盘，其特征在于，该冷却装置包括：

开设在抛光盘上的冷却水入口和冷却水出口；

开设在抛光盘中的环形的回液槽和回液通道，回液通道的一端与回液槽连通，回液通道的另一端与冷却水出口连通；

开设在抛光盘中的冷却水沟槽，冷却水沟槽位于抛光盘中被回液槽包围的区域，冷却水沟槽均匀分布且呈树枝状，每一冷却水沟槽包括主沟槽和侧沟槽，主沟槽的一端与冷却水入口连通，主沟槽的另一端与回液槽连通，侧沟槽的一端分别与主沟槽连通，侧沟槽的另一端分别与回液槽连通，使得抛光盘的圆心至抛光盘的外边缘的半径范围内的中间区域沟槽的分布密度高于抛光盘的其他区域。

2.如权利要求1所述的抛光盘的冷却装置，其特征在于，所述侧沟槽从主沟槽距离抛光盘中心的四分之一处向主沟槽的侧方延伸。

3.如权利要求2所述的抛光盘的冷却装置，其特征在于，所述侧沟槽为两个，分别位于主沟槽的两侧。

4.一种抛光盘，所述抛光盘包括上盘和下盘，所述上盘和下盘固定连接，其特征在于，所述下盘具有冷却装置，该冷却装置包括：

开设在下盘底部的冷却水入口和冷却水出口；

开设在下盘的顶表面的环形的回液槽；

开设在下盘内的回液通道，回液通道的一端与回液槽连通，回液通道的另一端与冷却水出口连通；

开设在下盘的顶表面的冷却水沟槽，冷却水沟槽位于下盘的顶表面上被回液槽包围的区域，冷却水沟槽均匀分布且呈树枝状，每一冷却水沟槽包括主沟槽和侧沟槽，主沟槽的一端与冷却水入口连通，主沟槽的另一端与回液槽连通，侧沟槽的一端分别与主沟槽连通，侧沟槽的另一端分别与回液槽连通，使得抛光盘的圆心至抛光盘的外边缘的半径范围内的中间区域沟槽的分布密度高于抛光盘的其他区域。

5.如权利要求4所述的抛光盘，其特征在于，所述侧沟槽的数量为两个，分别从主沟槽距离下盘中心的四分之一处向主沟槽的两侧延伸。

6.如权利要求4所述的抛光盘，其特征在于，所述冷却水入口位于下盘的中心，冷却水出口的数量为两个或两个以上且对称分布在冷却水入口的周围。

7.如权利要求4所述的抛光盘，其特征在于，还包括旋转接头和冷却水供应装置；

所述冷却水供应装置包括：供水管路、回水管路和盛放冷却水的蓄水槽，所述蓄水槽分别与供水管路和回水管路连接；

所述冷却水入口和冷却水出口分别与旋转接头连接，旋转接头与冷却水供应装置的供水管路和回水管路连接。

8.如权利要求7所述的抛光盘，其特征在于，所述冷却水供应装置还包括供应泵，蓄水槽通过供应泵与供水管路连接。

9.如权利要求7所述的抛光盘，其特征在于，所述蓄水槽内设置有液位传感器，所述液位传感器检测到蓄水槽内的冷却水液位低于预设液位时，向蓄水槽内补充冷却水。

10.如权利要求7所述的抛光盘，其特征在于，所述蓄水槽内设置有温度计，所述温度计检测到蓄水槽内冷却水的温度高于预设温度时，将蓄水槽内的冷却水排出蓄水槽，并向蓄水槽内补充低温冷却水。