[发明专利]用于光学关键尺寸测量的方法及装置有效
| 申请号： | 201410234193.7 | 申请日： | 2014-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN105444666B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;施耀明;张振生;徐益平 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明描述了一种在光学关键尺寸(OCD)测量设备中的提升光谱曲线匹配可靠性和测量精确度的方法及装置。其包括对各个待测结构参数在全体波长点的理论光谱进行灵敏度分析并获取灵敏度随波长分布；对各个待测结构参数的灵敏度随波长分布进行归一化处理；灵活设置统化权重系数并对所述归一化的灵敏度随波长分布进行统化处理；在理论光谱与测量光谱的匹配过程中在每个波长点设置匹配权重系数并对理论光谱与测量光谱进行评价优化操作以判定两者的匹配程度；这样，实现了匹配评价的优化设计并达到了待测结构参数拟合值精确度的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 波长分布 结构参数 理论光谱 灵敏度 权重系数 测量 波长 光谱 光学关键尺寸测量 归一化处理 灵敏度分析 测量设备 光谱曲线 灵活设置 匹配过程 优化操作 优化设计 归一化 拟合 判定 | ||
【主权项】：
1.一种在OCD测量设备中提高光谱曲线匹配可靠性和测量精确度的方法，包括由所述OCD测量设备执行的以下步骤:获取仿真模型的待测结构参数的标称值和邻近值在每个波长点的光谱数据以形成理论光谱数据库；对各个所述待测结构参数在全体波长点的所述理论光谱进行灵敏度分析并获取各个所述待测结构参数的灵敏度随波长分布；对各个所述待测结构参数的所述灵敏度随波长分布进行归一化处理并获取归一化的灵敏度随波长分布；根据用户对所述待测结构参数的关注程度，所述待测结构参数对最终器件电学特性和产品优良率的影响程度来设置统化权重系数并对所述归一化的灵敏度随波长分布进行统化处理及获取统化的灵敏度随波长分布；根据所述统化的灵敏度随波长分布，在理论光谱与测量光谱的匹配过程中在每个波长点设置匹配权重系数并计算理论光谱与所述测量光谱之间的信号偏移量；以及对所述理论光谱与所述测量光谱进行评价优化操作并判定所述理论光谱与所述测量光谱的匹配程度。
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