[发明专利]加工装置以及信息交换方法有效

专利信息
申请号: 201410215009.4 申请日: 2014-05-21
公开(公告)号: CN104217941B 公开(公告)日: 2019-07-30
发明(设计)人: 梶原佑介;高木敦史 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/301 分类号: H01L21/301;G06F3/041
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;金玲
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供加工装置以及信息交换方法,其能够进行任意的写入、且能够显示该任意的写入。加工装置具有:卡盘台,其保持被加工物;加工构件,其对卡盘台所保持的被加工物进行加工;摄像构件,其拍摄卡盘台所保持的被加工物的表面;控制构件,其控制加工构件和摄像构件;以及触摸面板,其显示摄像构件所拍摄的图像和对控制构件输入设定加工条件的操作画面,在触摸面板(40)上可显示自由写入的记录画面(45),记录画面(45)能够沿着按压触摸面板(40)的轨迹显示按压后的结果,从而在触摸面板(40)上显示任意的写入信息(PI)。
搜索关键词: 加工 装置 以及 信息 交换 方法
【主权项】:
1.一种加工装置,其具有:卡盘台,其保持被加工物;加工构件,其对所述卡盘台所保持的所述被加工物进行加工;摄像构件,其拍摄所述卡盘台所保持的所述被加工物的表面;控制构件,其控制所述加工构件和所述摄像构件;以及触摸面板,其以层级结构显示操作画面和所述摄像构件所拍摄的图像,其中,该操作画面是对所述控制构件输入设定加工条件的画面,且不是自由写入的,该加工装置的特征在于,在所述触摸面板上能够显示自由写入的记录画面,所述记录画面在所述层级结构的最上位层的2层级下位的画面中重叠显示在所述操作画面上、且与所述操作画面关联,所述记录画面能够沿着按压所述触摸面板的轨迹显示按压的结果,在所述触摸面板上显示任意的写入信息,且所述记录画面包括显示所述任意的写入信息的区域、用于在所述操作画面上显示所述记录画面的记录画面显示按钮及对重叠在所述操作画面上的所述记录画面的透过率进行调整的透过率调整滑动按钮。
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